废气处理设备根据不同的功能可分为：吸收设备、吸附设备、净化设备、治理设备。常见的有机废气处理方法有：活性炭/棉吸附、生物洗涤吸收、等离子、光催化氧化、冷凝回收、催化燃烧、热力焚烧。

不同的行业，产生的废气种类不尽相同，所用的设备也不大一样。比如说涂装喷漆会产生苯、甲苯、二甲苯，主要采用RTO（蓄热式焚烧）、TNV（直然式焚烧）方式处理。TNV即加热高温条件下将有机废气转化为二氧化碳和水，RTO则是先过滤掉颗粒物，再浓缩吸附排放，高浓度废气则进行氧化焚烧后再排放。TNV、RTO应都属于热力焚烧的方法。

吸附设备大多都是采用活性炭吸附；也有用大孔树脂的，比较适用于化工行业卤代烃废气的处理。除此之外的其它技术也是在活性炭基础上发展出来的。比如说负压膜封闭技术：是处理土壤的技术，但是由于大棚是密闭空间，在污染土的卸、堆、运作业时，不可避免的会产生大量的粉尘、废气，因此， 也需要进行尾气净化处理。采用布袋除尘+活性炭净化工艺，先通过布袋除尘，将气体中大颗粒物进行初步过滤，再进入活性炭净化器，对污染土挥发出的有毒气体进行吸附、集中处理，最后达标排放。除此之外还可以多种方法组合使用。比如说利用新型活性炭吸附低浓度的有机废气,吸附饱和后利用热空气加热,在贵金属催化作用下开展燃烧净化处理,将有机物转化为无害物质。

等离子法一般是利用气体放电实现，设备使用时存在较大的安全风险；生物法的本质是利用微生物生命活动降解消除含氮、磷、氧、碳污染物。大多数废气处理工艺都是多种方法相结合使用，从而达到安全排放的标准